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マイクロマシン/MEMS/MSTコミュの質問コーナー作ってしまいました。

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質問コーナー作ってしまいました。

mixiユーザー 2009年06月09日 15:38

スイマセン、質問させてくださいあせあせ

「実用化されているMEMSまたはμTASデバイスの調査」
というレポートをやらなければいけないのですが、私の専門は化学系なこともあり、今朝から色々やっているのですがサッパリな状況です。

?デバイスの原理および特徴が述べられていること。
?デバイスの構造が具体的に説明されていること。（模式図を入れる）
?デバイスを実現するために必要な作成方法が述べられていること。

↑がレポートの条件なのですが、このレポートを作成するにあたり参考になる本、またはサイトなどありましたら教えて下さい。
お願いします。

コメント(3)

[2] mixiユーザー 06月11日 09:40

ありがとうございます。

レポートできました。
残念ながらその資料は使わなかったのですが、参考にさせていただきました。

[3] mixiユーザー 06月11日 10:10

こんにちは．
主さんと同じ大学で今年３月までＭＥＭＳの研究をしていたＯＢです．

ユウヒさんのご紹介されている本には幾度となくお世話になりました（Ｄ１‐２０３には確実にあります・笑）

これからも研究頑張ってください．

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