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コメント(9)
これも乗りかかった船なので、ワタシの思うところを説明してみます。他の方からもご意見お願いします。
問）平坦かつ平滑な基板上の有機膜の膜厚を求める方法は？
１．触針式粗さ系（段差計）で基板との段差を計る（10〜）
２．AFMで基板との段差を計る（1〜3000）
３．IRやUB/Visなどの光学吸収から検量線を使って求める（50〜500）
４．薄膜硬度系で硬さの変わる押し込み深さを調べる（10〜5000?）
５．断面SEMで求める（50〜）
６．エリプソメトリで求める（0.5〜300）
７．断面TEMで求める（10〜1000）
候補としてはこんなところでしょうか。
一般的なやりやすさもこの順番になると思います。（）内は、適した膜厚範囲のおおまかな目安（nm）です。
まともな触針式粗さ系があるなら、１が一番楽です。非常に緩やかな段差が計れますから適当なマスクの影のエッジで計れます。ただし、有機膜の場合は、細めの針で極めて弱い針圧にしないと引っ掻きやすいです。EL用アモルファス低分子で常に引っ掻かずに計れたら「神」です。
２だと、かなりシャープな段差を敢えて作らないと難しいです。慣れると有機膜を爪楊枝で引っ掻いてきれいな段差を作れますからお試しあれ。
３は、検量線を引くために一度他の方法で膜厚を調べる必要があります。また、結晶性の膜で配向が変化する場合にはやっかいです。
４は、金属材料系の研究室以外では珍しい装置だと思います。装置によっては簡単に計れますが、精度が出るかどうかは装置と設置環境次第です。
５は、基板が劈開しやすい場合は簡単にできますが、電子線を当てると有機膜があっと言うまに壊れますから要注意。
６は、基板との組合せによってはうまく計れず、ｎ、ｋ、ｄを独立に決められない場合や、計る波長に大きな吸収があると、やはり決めかねると思います。ルーチン的に膜厚を計る手段としては、測定波長で吸収が無い膜にしかお勧めできません。薄いところの感度は高いのですけど。
７は．．．．普通やらんわな〜。(^^;
問）平坦かつ平滑な基板上の有機膜の膜厚を求める方法は？
１．触針式粗さ系（段差計）で基板との段差を計る（10〜）
２．AFMで基板との段差を計る（1〜3000）
３．IRやUB/Visなどの光学吸収から検量線を使って求める（50〜500）
４．薄膜硬度系で硬さの変わる押し込み深さを調べる（10〜5000?）
５．断面SEMで求める（50〜）
６．エリプソメトリで求める（0.5〜300）
７．断面TEMで求める（10〜1000）
候補としてはこんなところでしょうか。
一般的なやりやすさもこの順番になると思います。（）内は、適した膜厚範囲のおおまかな目安（nm）です。
まともな触針式粗さ系があるなら、１が一番楽です。非常に緩やかな段差が計れますから適当なマスクの影のエッジで計れます。ただし、有機膜の場合は、細めの針で極めて弱い針圧にしないと引っ掻きやすいです。EL用アモルファス低分子で常に引っ掻かずに計れたら「神」です。
２だと、かなりシャープな段差を敢えて作らないと難しいです。慣れると有機膜を爪楊枝で引っ掻いてきれいな段差を作れますからお試しあれ。
３は、検量線を引くために一度他の方法で膜厚を調べる必要があります。また、結晶性の膜で配向が変化する場合にはやっかいです。
４は、金属材料系の研究室以外では珍しい装置だと思います。装置によっては簡単に計れますが、精度が出るかどうかは装置と設置環境次第です。
５は、基板が劈開しやすい場合は簡単にできますが、電子線を当てると有機膜があっと言うまに壊れますから要注意。
６は、基板との組合せによってはうまく計れず、ｎ、ｋ、ｄを独立に決められない場合や、計る波長に大きな吸収があると、やはり決めかねると思います。ルーチン的に膜厚を計る手段としては、測定波長で吸収が無い膜にしかお勧めできません。薄いところの感度は高いのですけど。
７は．．．．普通やらんわな〜。(^^;
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