MOVPE

詳細 2009年10月29日 21:12更新: 和名：有機金属気相成長法
英名：Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy
通称：MOVPE法

デポジッションではなくてエピタキシーだ！
MOCVDでは違和感のある、こだわりの物理系プロセス屋さんのために作りました。

キーワード：LED LD HEMT HBT AlN GaN InN BN InGaN AlGaN GaAs InP InAs GaP InGaP InGaAs GaSb MQW MBE LPE HVPE CVD P-CVD EB annealing Si Ge C SiGe ZnO Al2O3