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MOVPE

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コミュ内全体

詳細 2009年10月29日 21:12更新

和名:有機金属気相成長法
英名:Metal-Organic Vapor Phase Epitaxy
通称:MOVPE法

デポジッションではなくてエピタキシーだ!
MOCVDでは違和感のある、こだわりの物理系プロセス屋さんのために作りました。

キーワード:LED LD HEMT HBT AlN GaN InN BN InGaN AlGaN GaAs InP InAs GaP InGaP InGaAs GaSb MQW MBE LPE HVPE CVD P-CVD EB annealing Si Ge C SiGe ZnO Al2O3

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参加メンバー 6人

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開設日
2007年7月5日

3671日間運営

カテゴリ
学問、研究
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